Aplicações do PEEK | Análise do Material PEEK em Anéis Retentores CMP e Tecnologias-Chave

O processo CMP (Polimento Químico-Mecânico) é essencial na fabricação de semicondutores.

O anel retentor CMP é um consumível essencial, proporcionando fixação e suporte ao wafer. Com o aumento da complexidade dos processos, crescem as exigências sobre os materiais.

O Polieteretercetona (PEEK), graças à sua resistência térmica, inércia química, resistência mecânica e baixíssima contaminação, tornou-se o material ideal para anéis retentores CMP premium. Este artigo explora os aspectos técnicos dos anéis CMP e o papel avançado do PEEK.

O que é um anel retentor CMP?

O CMP combina corrosão química com polimento mecânico para nivelar superfícies de wafers removendo camadas dielétricas irregulares.

Os materiais processados incluem dióxido de silício, tungstênio e cobre.

Principais consumíveis:

• Slurry

• Almofadas de polimento

• Condicionadores de almofada

• Anéis retentores CMP

• Membranas

Funções do anel retentor CMP

• Fixação do wafer:
  Garante que o wafer permaneça estável sob pressão e rotação.

• Melhoria da uniformidade:
  Evita sobrepolimento nas bordas.

• Proteção das bordas:
  Previne lascas e rachaduras.

A precisão do anel influencia diretamente o rendimento e qualidade.

Desafios dos anéis retentores CMP

1. Carga mecânica intensa

• Pressão e fricção elevadas

• Desgaste constante

• Necessidade de estabilidade dimensional

2. Corrosão química

Cada etapa CMP pode usar slurry diferente, exigindo materiais resistentes.

Requisitos de desempenho

• Resistência mecânica e ao desgaste

• Estabilidade dimensional

• Baixa contaminação

• Alta precisão

Vantagens do PEEK

• Resistência a altas temperaturas

• Inércia química

• Alta resistência mecânica

• Longevidade muito maior que materiais convencionais

Tipos de anel e tendências

1. Anel com inserto colado:
   Com riscos de contaminação pelo adesivo.

2. Anel sobremoldado:
   Totalmente revestido em plástico — ideal para processos ultra limpos.

Ambos podem ser feitos de PEEK, mas a demanda por sobremoldados cresce.

Soluções PEEK para CMP

O ARKPEEK-1000:

• Alta pureza

• Excelente resistência a impactos

• Estabilidade dimensional

• Propriedades químicas, elétricas e anti-chama

• Formulações personalizadas

ARKPEEK apoia a indústria chinesa de semicondutores com soluções inovadoras.

Conclusão

Com a evolução dos semicondutores, o PEEK consolida-se como material preferido para anéis retentores CMP de alto desempenho.